Anbefalede faglige forudsætninger for at deltage i modulet

Modulet bygger på viden opnået i modulerne faststof fysik 1, fysisk kemi og elektrokemi og general og uorganisk kemi.

Modulets indhold, forløb og pædagogik

Læringsmål

Viden

• Skal have et solid kendskab til de vigtigste mikrofabrikationsprocesser, herunder litografi, ætsning og deponering.
• Skal have basal forståelse af de vigtigste udstyrstyper, der anvendes i mikro-/nanofabrikation.

Færdigheder

• Skal kunne designe og implementere en fremstillingsproces for mikro-/nanokomponenter

Kompetencer

• Skal demonstrere godt kendskab til basale metoder anvendt til fremstilling af enheder på mikro- og nanoskala.  
• Skal kunne udføre basale mikro-/nano-fremstillingsprocesser og arbejde i renrumsmiljøet.

Undervisningsform

Undervisningen tilrettelægges i henhold til de generelle undervisningsformer for uddannelsen, jf. bachelorstudieordningens §17.

Omfang og forventet arbejdsindsats

Da det er et 5 ECTS kursus forventes der en arbejdsbyrde på 150 timer for den studerende.

Eksamen

Prøver

Prøvens navn	Nano- og mikrofabrikation
Prøveform	Aktiv deltagelse/løbende evaluering Løbende evaluering (bestået/ikke bestået) baseret på aktiv deltagelse i kurset, instruktioner, laboratorie øvelser og opgaver. Reeksamen gennemføres som skriftlig eller mundtlig eksamen.
ECTS	5
Bedømmelsesform	Bestået/ikke bestået
Censur	Intern prøve
Vurderingskriterier	Vurderingskriterierne er angivet i Universitetets eksamensordning