Forudsætninger/Anbefalede forudsætninger for at deltage i modulet

Modulets indhold, forløb og pædagogik

Læringsmål

Viden

• Skal have viden om eksperimentelle metoder og teknikker til karakterisering af overflader og nanostrukturer, herunder optiske metoder, ellipsometri og elektronmikroskopi,
• Skal have viden om teknikker til fremstilling af tynde (metalliske) film og nanostrukturer, herunder deponeringsteknikker og litografi.

Færdigheder

• Skal kunne redegøre for anvendelsen af eksperimentelle metoder til geometrisk karakterisering af nanostrukturer.
• Skal kunne fremstille og karakterisere tynde (metalliske) film.
• Skal kunne fremstille strukturer ved brug af partikel-strålings-litografi.

Kompetencer

Kompetencerne som opnås, skal udvikle og styrke kendskab til og forståelse af teknikker og metoder til fremstilling og karakterisering af tynde film og nanostrukturer og komponenter. Den studerende skal være i stand til at kende muligheder og begrænsninger af de forskellige metoder og teknikker.

Undervisningsform

Forelæsninger med teoretiske og praktiske øvelser.

Omfang og forventet arbejdsindsats

Kursusmodulets omfang er 5 ECTS svarende til 150 timers studieindsats.

Eksamen

Prøver